진공 펌프의 성능

2.5 기체와 고체 표면 진공 시스템에서 기체분자와 고체 표면 사이의 관계는 매우 중요하다. 진공 펌프에 의해 용기 내의 기체를 배기하기 시작하면, 압력은 급격하게 떨어지지만, 이내 압력의 감소율은 서서히 감소하여 고진공에 도달하기까지는 많은 시간이 소요된다. 이는 진공 시스템의 누설에 의한 요소도 있을 수 있지만, 이외에 진공용기의 재료로부터 발생하는 증발이나 탈착 등에서도 일어나게 된다. 대기압 하에서 기체와 고체 사이의 관계는 화학반응에 의한 운동뿐만 아니라, 응축이나 확산과 같은 특성을 나타낸다. 그러나 압력이 낮아지면 진공용기의 고체 표면과 상호 작용할 수 있는 기체분자의 수는 적어지고, 단지 고체 표면과 충돌하는 기체분자 정도만 남게 된다. 이와 같이 진공용기 내에는 공간에 존재 하는 기체분자..

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