터보 분자 펌프와 역사

5.2 터보 분자 펌프 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump; TMP)는 매우 청결한 기계적인 펌프로써, 일명 터보 펌프(turbo pump)라고 부르기도 한다. 터보 펌프는 오일을 사용하지 않기 때문에 깨끗한 고진공 펌프라고 알려져 있으며, 확산 펌프와 동일 한 운동량 전달 방식의 펌프이다. 이러한 이유로 최근 진공 시스템이 있어야 하는 첨단 전자산업의 제조과정에서 많이 사용하는 펌프이다. 터보 펌프의 특징은 동일한 용량의 확산 펌프와 비교하여 매우 비싸며, 압력 범위는 트랩 없이 $10^{2}~5x10^{10}$ torr까지 사용이 가능한 순수한 기계식 진공 펌프이다. 물론, 회전자와 고정자 사이의 베어링에 약간의 윤활유를 사용하기는 하지만, 역류와 같은 문제는 발생하지 않는 것으로 ..

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