이온 펌프 및 진공 게이지

6.3 이온펌프(전 글에 이어서) 불활성 기체에 대한 배기 효율을 높이기 위해서는 기체분자의 이온화도를 높여야 하며, 이를 위해서는 전자의 생성을 높이거나 이온화되는 영역에서 전자의 체류 시간을 증가시켜 전자의 밀도를 집중시켜야 한다. 그림에서 보여주듯이, 자기장과 전기장을 이용하면 이온이 생성되는 영역에서 전자의 체류시간을 길게 하여 전자밀도를 높임으로써 이온화도를 증가시킬 수 있다. 이와 같이 전자기력에 의해 집중된 전자밀도를 이용하여 얻는 안정된 방전을 페닝방전(Penning discharge)라고 한다. 스퍼터 이온 펌프는 이러한 방전을 이용하여 불활성 기체에 대한 배기속도를 개선한 것이다. 펌프의 내부 구조를 살펴보면, 원통형의 양극에 축 방향으로 자기장을 인가하게 되고 원통 밖으로 음극이 설치..

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