잔류 가스 분석기

7.4 잔류 가스 분석기 지금까지 공부해온 대부분의 게이지들은 기체의 종류를 구별하지 않고 압력을 측정하는 압력계로써, 진공 펌프를 이용하여 단순히 진공 용기 내에 존재하는 다양한 기체 분자들을 배기하는 경우에는 전체 압력을 측정하여 진공도를 나타내는 것으로 충분하였다. 그러나 진공 시스템에서 공정을 진행하거나 초고진공을 이용한 분야에서 정성적인 진공상태를 분석할 경우에는 전반적인 진공의 양뿐만 아니라 잔류하는 기체의 구성 성분이나 종류에 대한 정보가 중요하다. 즉, 공정을 진행하는 과정에서 진공 용기 중에 전체 압력을 구성하는 각 기체에 대한 분압을 측정하고 분석하는 것이 유용하다. 이와 같이 진공 용기 중에 잔류하는 기체의 성분이나 조성 등을 측정하는 것으로 잔류 가스 분석기(RGA;residual ..

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