러핑 펌프의 종류에 대해서

4.3 드라이 펌프 최근 국가산업 경쟁력의 핵심으로 떠오르고 있는 차세대 동력산업인 첨단의 평판 디스플레이 산업이나 반도체 산업에 있어 진공 장치의 오염은 제조공정에 서 반드시 제거하여야 하는 필수 요건이라 할 수 있다. 드라이 펌프(dry pump;일명 건식 펌프)는 펌프에 오일을 사용하지 않기 때문에 진공 시스템의 청결도를 유지할 수 있다는 장점으로 주목을 받고 있다. 이미 앞 절에서 기술하였듯이, 오일에 의한 역류는 진공 용기의 오염이나 고장에 가장 큰 원인을 제공하기도 한다. 따라서 진공의 청정을 해야 하는 공정에서 드라이 펌프를 사용하게 되면, 제조공정의 신뢰성 및 안전성이 증가하고, 운영의 경비를 절감할 수 있으며, 또한 폐기물 처리비용을 절감할 수 있다. 드라이 펌프의 종류로는 screw 펌..

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