오일 증기의 역류에 대하여

5.1.3 오일 증기의 역류 고진공 펌프로서 보편적으로 많이 사용되어온 것이 오일 확산 펌프이지만, 확산 펌프의 가장 큰 문제점은 바로 오일의 역류(back-stream)이다. 역류는 오 일 증기가 진공 용기로 들어가는 현상으로 진공 용기 내벽에 오염을 발생시킬 뿐만 아니라, 공정으로 진행되는 모든 과정에 영향을 주기 때문에 반드시 방지하 여야 한다. 그러나 오일 확산 펌프의 동작은 히터의 가열에 의해 생성되는 기체상인 증기 분자들의 열운동으로 기체분자를 배기하는 것임으로 역류에 대한 가능성은 동작 원리에서부터 내재하고 있다. 따라서 이에 대한 최선책이란 역류의 확률을 최대한 줄이는 것뿐이다. 역류에는 여러 종류가 있지만, 가장 근본적인 원인으로는 노즐에서 분사된 증기 분자가 직접 역류하는 것이다. 즉,..

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