게터펌프의 종류와 원리

6.1.1 게터펌프의 종류와 원리 이외에 비증발형의 게터들은 대부분 합금이며, 현재 가장 많이 상용화되고 있다. 이러한 합금 소재는 분말 형태로 철이나 콘스탄탄(constantan) 위에 약 $100\mu m$ 정도의 두께로 증착하여 소결한다. 비증발형 게터는 메탄이나 불활성 기체를 제외하고 거의 모든 기체를 배기할 수 있으며, CO, CO$_2$, N$_2$, O$_2$ 및 H$_2$O 등과 같은 기체분자는 표면의 게터와 화학적으로 결합하여 화합물을 형성하는데, 예로서 Zr를 게터로 사용한다면 화합물로 ZrC와 ZrO 등이 생성된다. 이들이 포화하면 가열하여 재생하게 되며, 표면에는 새로이 Zr이 만들어지고 C나O는 내부로 확산하게 된다. 그러나 수소는 원자 형태로 분해되어 금속 원자 사이에 용해되어 ..

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