초고진공펌프

초고진공펌프 초고진공(UHV; ultra high vacuum) 영역은 대표적으로 $10^{-8}$ torr 이하의 압력으로 정의하며, 이미 제3장 펌프의 분류나 선정에서 기술하였듯이 초기의 저진공을 형성하기 위해 먼저 러핑 펌프를 사용하여 배기하고, 연이어 고진공 펌프를 동작시켜 고진공 압력 영역으로 배기한 후에 초고진공 펌프를 이용하여 희망하는 초고진공 영역으로 배기한다. 혹은 초고진공 펌프의 종류에 따라 고진공 펌프를 사용하지 않고 바로 초고진공 펌프를 동작시켜 초고진공 압력 영역으로 배기할 수도 있지만, 일반적으로 고진공 펌프와 초고진공 펌프를 동시에 동작하거나 혹은 두 개 이상의 초고진공 펌프를 병행하여 배기하게 된다. 그러나 초고진공 영역에 성공적으로 도달하기 위해서는 심지어 탈가스(out-g..

원문링크 : 초고진공펌프