잔류 가스 분석기와 누설의 방지

8.2.2 잔류 가스 분석기 잔류 가스 분석기를 이용하여 진공 시스템의 누설을 검출하기 위해 가장 많이 사용하는 가스가 헬륨(helium)이다. 이는 상기 표나 그림에서 알 수 있듯이, 대기 중에 헬륨이 차지하는 비율이 매우 낮으며, 즉 누설을 검출할 경우에 유입되는 기체와 구별하기 상당히 쉽기 때문이다. 잔류 가스 분석기로 누설을 검출하는 경우, 주로 헬륨을 탐지 가스로 사용하는 구체적인 이유를 살펴보면 다음과 같다. 1. 헬륨은 불활성 기체 중에 가장 가볍다. 따라서 미세한 균열이나 구멍을 통한 누설이라 하더라도 검출하는 데 감도가 좋으며, 잔류 가스 분석기를 이용하여 쉽게 검출할 수 있다. 2. 헬륨은 누설검사가 용이하다. 이는 이미 그림 8-4에서 기술하였듯이 대기 중에서 극소량 포함하고 있으므로..

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