냉음극 이온 게이지

7.3.5 냉음극 이온 게이지 이미 기술하였듯이, 열음극 이온 게이지의 가장 중요한 문제점은 필라멘트에서 발생하는 고온이 문제이다. 필라멘트는 보통 2000 K 정도의 고온으로 가열되어 동작하기 때문에 기체분자를 해리하거나 합성하여 필라멘트에 화학적인 변화를 일으키며, 필라멘트 표면의 변화를 야기한다. 즉, 이러한 필라멘트의 오염은 게이지의 감도를 저하시키며, 특히 압력이 높아지면 필라멘트가 산화되어 타거나 손상되는 등의 문제도 일으킬 수 있다. 이와 같은 문제점을 개선하기 위해 Penning이 냉음극 이온 게이지(cold cathode ion gauge)를 개발하였다. 그림 7-20은 냉음극 이온 게이지의 기본 구조를 나타내며, 유리 용기 내에 두 개의 음극과 원통형의 양극이 있고, 외부에 영구자석과 ..

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