티타늄 승화 펌프

6.2 티타늄 승화 펌프 티타늄 승화 펌프(titanium sublimation pump; TSP)는 대표적인 증발형 게터 펌프로써, 티타늄이 기체분자와 화학적으로 반응하여 기체를 배기하는 방식으로 구조가 매우 간단한 펌프이다. 티타늄을 승화하여 동작하기 때문에 티타늄을 사용하지 않는 공정에 적용하며, 탄화수소나 오염 물질을 사용하지 않는 진공 시스템에 장착하게 된다. 그림 6-4에서는 티타늄 승화 펌프의 표면에서 기체 분자가 배기되는 간단한 과정을 나타내고 있다. 티타늄은 화학적으로 반응이 잘되는 소재로써, 적절히 가열하면 액체를 거치지 않고 증기 상태의 기체로 승화하여 표면에 흡착한다. 그림에서 나타나듯이, 티타늄으로 흡착된 막은 진공 용기 중에 질소, 산소 및 수소와 같은 기체분자와 결합하여 티타늄..

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