진공시스템에서의 세척 방법

10.3.1 각종 소재의 세척 진공 시스템에서 사용하는 소재의 종류에 따라 세척 방법은 다르며, 또한 진공 업체나 각 연구실마다 세척하는 방식이 조금씩 다르다. 이제, 진공 시스템에 서 다루는 주요 소재에 대한 기본적인 세척 방식에 대해 기술하도록 한다. (1) 스테인리스강 1. TCE(trichloroethane)에 넣고 초음파 세척기로 기름을 제거한다. 2. 알칼리성 세척제(pH=11)에 담근 후, 공기로 건조한다. 3. 수돗물로 15초간 담근다. 4. 증류수에 담근 후, 공기로 건조한다. 5. 뜨거운 oven에 넣어 건조한다. 6. 진공에서 950C로 2시간 베이크 한다. 7. 글로우 방전이나 반응성 가스로 세척한다. (2) 알루미늄 및 합금 1. 육안에 보이는 오염물질을 제거한다. 2. 120..

원문링크 : 진공시스템에서의 세척 방법