Vertical Grinding Machine SGM-8000_SHUWA

T. 031 745 8769 mailto:[email protected] 양산 라인 및 LED용 사파이어, SiC, GaN, "단단하고" "깨지기 쉽은" "박막" 웨이퍼의 우수한 생산성 확립 Vertical Grinding Machine SGM-8000 특 징 Back & forward movement 지석 베어링이 앞뒤로 요동 하면서 연삭한다. 이때 연삭 응력이 가로 방향으로 흩어지면서 가공 변질층이 얕고 손상이 적은 연삭이 가능하며 웨이퍼를 보다 얇고 정밀한 연삭이 가능하다 Overload sensor system 연삭 가공 중에 설정 이상의 부하가 걸리면 이송이 후진하고, 그라인딩 휠과 가공물의 스트레스를 일단 해소한 후 다시 이송이 시작된다. 이 시스템으로 가공물에 강한 스트레스를 주는 것을 방지하고 데미지가 작은 연삭이 가능하다. Intermittent Grinding System 이송과 인터벌을 반복하면서 연삭한다. 인터벌이 진행되는 동안 슬러지 배출 및그라인딩 휠의 ...

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