디스플레이 TFT 핵심 공정 - ① Sputter

지난 시간에 디스플레이 화소의 스위치 역할을 하는 TFT를 만드는 공정에 대해 알아보았습니다. 2020/10/29 - [공학/디스플레이공학] - 디스플레이 TFT 공정 기초 TFT 공정 단계 중 증착(deposition)의 하나인 Sputter에 대해 알아보겠습니다. 앞서 말씀 드린 것처럼, TFT는 쌓고, 깎는 과정을 반복해서 만들기 때문에, 쌓고, 깎는 것이 중요합니다. 어떻게 쌓고, 어떻게 깎아낼까요? 또, 어떤 물질로 쌓고, 어떤 물질로 깎아낼까요? 어떤 방법을 쓰면 효과가 좋을까요? 이 질문에 대해 탐구해보도록 하겠습니다. 그럼, let's go!! 쌓는 방법(증착)에는 Sputter라고 하는 녀석과 CVD라고 하는 녀석이 있습니다. 그 중 Sputter(스퍼터)는 물질을 쌓는데, 물리적(Phy..

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