디스플레이 TFT 핵심 공정 - ② CVD

지난 시간에 이어 TFT 공정의 핵심 기술 중 하나인 CVD에 대해 알아보겠습니다. PVD(Physical Vapor Deposition) 중 하나인 Sputter에 대해 이해가 잘 되셨나요? 2020/11/03 - [공학/디스플레이공학] - 디스플레이 TFT 핵심 공정 - ① Sputter TFT는 지난번에도 말씀 드린 바와 같이 쌓고, 깎는 과정을 반복하며 제작합니다. 오늘 알아볼 CVD 또한 Sputter처럼 쌓는 과정 중 하나입니다. 차이가 있다면, CVD는 화학가스를 이용하여 증착을 한다는 것입니다. 좀 더 세부적으로 CVD에 대해 알아보시죠~ CVD CVD는 Chemical Vapor Deposition의 약자로, 화학가스를 이용하여 증착을 합니다. 막의 품질이 우수하고, 막을 쌓는 속도가 빠..

원문링크 : 디스플레이 TFT 핵심 공정 - ② CVD