반도체 공정 27장(Sheet resistance)

반도체 분야에서 면저항(Sheet resistance)을 모르는 사람이 없을 정도로 Sheet resistance는 반도체 공정에서 뺴놓을 수 없는 개념입니다. 반도체를 포함한 반도체 공정에 사용되는 금속 박막은 매우 얇습니다. 최근 삼성에서 3nm 공정을 성공했다는 사례만 살펴봐도, 반도체와 사용되는 박막이 얼마나 얇은지 짐작할 수 있습니다. 그렇기 때문에 아래 수식처럼 일반적인 저항이 아닌 면저항(Sheet resistance) 개념을 사용해야 합니다. 1. 일반적 의미의 저항(General resistance) 물질의 저항을 표현할 수 있는 요소는 총 3가지입니다. 물질의 저항은 길다란 호스를 생각하면 이해하기 쉽습니다. 길다란 호스를 통해 어떤 물질을 흘러보내고 있다고 가정합시다. ① 호스의 면적이 작을 수록, 물질을 보내기 어렵습니다. ② 호스의 길이가 길 수록, 물질을 보내기 어렵습니다. ③ 처음부터 호스 안에서 잘 움직이지 않는 물질이면, 물질을 보내기 어렵습니다. 위 ...

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