반도체 공정 30장(Diffusion systems)

저번 시간까지 p-n junction depth를 측정하는 방법에 대해 알아봤습니다. Junction depth를 측정하기 위한 여러가지 방법이 있는 것과 마찬가지로, 확산공정(Diffusion process)를 진행하는데 여러 종류가 있습니다. 이번 시간부터는 확산공정을 진행하기 위한 Tube furnace system의 종류와 방법에 대해 알아보도록 하겠습니다. 1. Tube furnace system(Solid / Liquid / Gas source) Introduction to Microelectronic Fabrication, 2nd Ed., R. C. Jaeger (a) Solid source in Pt source boat 이 방법은 Furnace 내부에 직접적으로 Solid source를 넣고 가열하여 Diffusion을 진행하는 방법입니다. 가장 원시적인 방법으로 비용이 저렴하다는 장점이 있지만, 모든 웨이퍼에 균등하게 확산공정을 진행하기 어렵다는 단점이 있습니다. ...

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