14. MOS Capacitor(모스캡)와 C-V 특성(기초)

MOS Capacitor란, MOS 구조로 이루어져 있는 커패시터입니다. 위 그림을 잘 이해해주세요. 가운데 껴있는 Oxide와, 반도체의 Depletion layer가, 커패시터의 역할을 하게 됩니다. 편의상 Metal과 반도체의 일함수가 같고, Oxide charge가 없어서, Band의 휘어진 상태가 없는, Flat band 상태를 가정하겠습니다. Flat band에 대해서는 차후에 다시 다루도록 하겠습니다. Capacitor의 CV 특성 정의에 대하여 커패시턴스(Capacitance)는 위와 같은 수식으로 정의할 수 있습니다. "전압의 변화에 저장되는 전하량이 어떻게 바뀌는지" C가 크다는 말의 의미는 작은 전압 변화에도 많은 전하가 저장되는 것입니다. 따라서 커패시턴스를 측정하기 위해서는 전압의 변화를 줘야 하기 때문에 교류전압(AC)을 사용해야 합니다. 그럼 가운데 있는 수식을 볼까요? 커패시터에서 두 극판 사이가 가까우면 가까울수록 전하 사이의 인력이 작용해서 더 많은 ...

원문링크 : 14. MOS Capacitor(모스캡)와 C-V 특성(기초)