[반도체 공정실습] Etch 용어 정리


[반도체 공정실습] Etch 용어 정리

1) Etch 공정- 웨이퍼 위에 형성된 박막 일부/전부를 깎는 공정2) Etch Rate- Etch 양/단위 시간- 단위......

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