에프엔에스테크

기타 경영사항(자율공시) 1. 제목 재생 연마패드(RECYCLED POLISHING PAD) 미국 특허권 취득 2. 주요내용 (1) 제목 재생 연마패드(RECYCLED POLISHING PAD) (2) 주요 내용 재생 연마패드는 상층패드 및 보충패드를 포함한다. 상층패드는 제1 면 및 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함한다. 제1 면은 복수의 제1 그루브들을 가지며, 제2 면은 복수의 제2 그루브들을 갖는다. 상층패드는 제1 그루브들과 제2 그루브들을 연결하는 연결 몸체를 더 포함한다. 보충패드는 상층패드의 제 2면에 접하여 형성된다. 제1 그루브들의 깊이는 제2 그루브들의 깊이보다 얕다. 본 특허는 공동출원 특허입니다. (3) 활용 계획 반도체 공정에서 필수적으로 사용되는 CMP PAD는 사용 후 폐기 및 소각된다. 본 기술을 사용한 CMP PAD는 기존에 폐기되는 CMP PAD를 재활용한 친환경제품으로 최근 사회적 화두가 되고있는 ESG(환경·사회·지배구조)에 기여할 것으로 기대...

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