반도체 공정에서 사용되는 glow discharge 영역에 도달하기 전에 무슨 일이 일어나는지 알아보자.A-B 자연에서 존재하는 ion과 electron의 전압 차에의한 이동으로 생기는 전류 -> 매우 작은 전류임을 볼 수 있다.이후 Breakdown Voltage이 되면서 secondary electron이 생성되고, 이로인해 Voltage가 줄어들어도 전류는 증가할 수 있다....
Plasma - Gas discharge property에 대한 요약내용입니다.
자세한 내용은 아래에 원문링크를 확인해주시기 바랍니다.
원문링크 : Plasma - Gas discharge property
네이버 블로그
티스토리
커뮤니티