ALD - Cluster의 필요성

1.Cluster 장비란?클러스터 장비는 여러 개의 공정을 하나의 장비 안에 위치시킨 복합 반도체 제조 장비2.Cluster 설계의 장점-공정 시간의 단축(단일 장비 내에서 각 공정모듈마다 하나의 웨이퍼씩을 가공하는 단일웨이퍼가공방식이 기존의 배 치 가공방식에 비해서 제조소요시간(Cycle Time)를 단축하는 효과가 있음이 밝혀졌다.)-interface contamination을 감소시킬 수 있다.결과적으로 QCD향상이 가능하다.*Q:quality, C:cost, D:delivery ALD의 경우 고품질의 박막을 형성하기 위해 사용한다. 그런데 사용목적에 반하는 불순물이나 오염물이 존재한다면? 당연히 안될 것이다. 따라서 ALD설비의 경우 Cluster형식이 필수적이다...........

ALD - Cluster의 필요성에 대한 요약내용입니다.

자세한 내용은 아래에 원문링크를 확인해주시기 바랍니다.

원문링크 : ALD - Cluster의 필요성