공정 Plasma

기본적인 plasma에 대한 정보는 다른 글에 post하겠다.공정 plasma의 고려사항 및 Parameter에 대해 다루겠다. 1.Chamber wall 효과 Chamber의 wall도 ground에 포함된다. 따라서 기판면적 효과를 고려하여 Chamber 면적을 설계해야 한다.2. RF frequency3. RF power...

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