Review : 반도체 소소제공

IDEC에서 교육을 통한 인연으로 '반도체 소소제공' 라는 책을 구입하게 되었다.왜 소소제공이냐? 소재소자제품공정에 대한 것을 다루기 때문이다.소재라고 하면 material특성을 의미한다. 즉 bandgap, resistivity, permittivity 등에 대하여 반도체 산업에서는 어떻게 적용되는지를 다루고 있다. 차세대 소재로써 중요한 low-k, 지금은 필수가 되어버린 High-k metal oxide, Bandgap에 따른 물성에 대해 이해할 수 있으리라 본다.소자. pn diode, MOSFET을 다루며 특히 MOSFET의 short channel effect에 집중했다. 미세공정에서 가장 핵심이 short channel effect 때문인듯 하다. 비전공자에게는 좋은 내용일 것이고, 전..........

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