반도체에서 말하는 EUV 에 대해

EUV 극자외선 extreme ultraviolet 파장의 광원을 이용해 반도체 원판인 웨이퍼에 회로를 그리는 제조공정 기존 공정에 적용중인 불화아르곤 ArF 보다 파장이 13분의 1 수준으로 짧아 미세한 패턴을 새길 수 있다..

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