[Analysis] XPS 분석 : X선 광전자 분광법 (원소 분석)

안녕하세요. 라떼만 먹는 대학원생 입니다. 오늘은 표면 특성 분석의 대표적인 장비인 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 에 대해서 다뤄볼까 합니다. XPS의 기본적인 원리와 기기의 구성, 그래프 해석까지 간단하게 설명드리도록 하겠습니다. XPS(X-ray photoelectron spectroscopy) 원리 X선 광전자 분광법 XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)는 우리말로 X선 광전자 분광법 이라고 부르며 시료의 원자 조성뿐만 아니라 관찰하는 화합물의 구조와 산화 상태에 대한 정보를 제공할 수 있습니다. 이러한 XPS는 어떤 원리로 시료를 분석할 수 있는 걸까요? XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)는 이름 그대로 X선을 사용합니다. X선을 광원으로 사용해서 시료 표면으로부터 방출되는 광전자의 운동에너지를 통한 결합에너지를 측정하게 됩니다. 이를 통해 시료 표면에 어떤 구성 원소로 이루어...