주영창 과기혁신본부장, 나노종합기술원에서 반도체 공공팹 인프라 운용 방향 논의

주영창 과기혁신본부장, 나노종합기술원에서 반도체 공공팹 인프라 운용 방향 논의 2024.02.06 과학기술정보통신부 과학기술정보통신부 (장관 이종호, 이하 ‘과기정통부’) 주영창 과학기술혁신본부장은 2월 6일(화), 대전 나노종합기술원을 방문하여 주요 반도체 첨단 패키징 시설·장비*를 둘러보고 현황을 파악함과 동시에 향후 효과적인 운용을 위한 방안에 대해 현장 제언을 청취하는 시간을 가졌다. * 클린룸 및 ArF Immersion Scanner 등 200mm/300mm 테스트베드 장비 등 주요 연구 장비 (ArF Immersion Scanner : 불화아르곤 액침 축소투영시스템 (20~40nm급 패턴 형성용 노광장비) 이번 현장 방문은 지난 1월 11일(목) 진행된 ‘반도체 첨단패키징 전문가 간담회’의 후속 행보로, 지난 간담회에서는 “설계 효율화나 소자 미세화 등 전공정의 기술 진보가 한계에 다다른 현 상황을 고려할 때 향후 글로벌 반도체 시장의 게임체인저는 첨단패키징 기술이 될 ...

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