나노소자공정<한림대학교> 실습 후기 - 4. Deposition

증착공정 증착장비에 대해 알아보겠습니다. sputtering 장비, evaporation 장비, 그리고 ALD 증착장비를 실습했습니다. 1. Sputtering sputter 증착은 진공 상태에서 target에 고전압을 공급하면 target 주위에 플라즈마 방전이 발생하고 방전 영역에 존재하고 있는 양이온들이 전기적인 힘에 의해 target 표면에 충돌하여 target에서 떨어져 나온 원자들을 기판 위에 증착시키는 기술입니다. 여기서는 magnetron sputtering 장비를 실습했습니다. magnetron sputtering magnetron sputtering은 자기장이 일정한 세기를 넘으면 전자는 음극을 나가서 양극에 도달하지 못하고 양극 사이에서 나선 운동을 합니다. 전자의 충돌 횟수를 증가, 이온화 가능성을 높여 deposition rate를 증가시킵니다. 스퍼터링 장비. 이 안에 웨이퍼를 넣고 Pt를 증착합니다 스퍼터링 장비 2. Evaporation evaporati...

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