[공유] MEMS 구동 - 정전기력(electrostatic force)

출처 흐르는 눈물 넘어로 어른이 되었던 그때..|뽀로로 MEMS 기술로 제작한 소자를 구동시키기 위해서는 힘이 필요하게 되는데, 이 힘을 얻는 방법에는 여러 가지가 있습니다. 그중에서도 많이 사용되는 구동 방법에는 정전기력, 전자기력, 압전기를 이용한 힘, 열 특성을 이용한 구동 등이 있습니다. 이러한 구동 방법은 각각의 장단점을 가지고 있고, 이러한 장단점들을 고려해서 제작하고자 하는 MEMS 소자의 특성에 맞는 구동 방법을 선택하게 됩니다. 다음에서는 각각의 구동 방법의 특징을 알아보도록 하겠습니다. 정전기력 (electrostatic force) 정전기력은 서로 다른 전하를 띄는 두개의 물체 사이에 작용하는 힘을 말합니다. 초등학교때 에보나이트 막대를 털가죽으로 문지른 후에 수돗물에 에보나이트 막대를 갖다 대면 물줄기가 에보나이트 막대쪽으로 휘는 실험을 해보았을 겁입니다. 에보나이트 막내는(-)로 대전되어 있고 물분자는 (+)극성을 갖기때문에 서로 당기는 힘이 작용해서 물이 휘...

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