나노공정장비연구실 레이저 리소그래피 장비 국산화 성공 [한국기계연구원]


나노공정장비연구실 레이저 리소그래피 장비 국산화 성공 [한국기계연구원]

반도체, 바이오센서, 의료 소자 등 제조장비 국산화로 외산 기술 대체 청신호   과학기술정보통신부 산하 한국기계연구원(원장 박상진, 이하 기계연)이 국내 최초로 400(나노미터)급 레이저 직접 리소그래피..

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