터보 분자 펌프의 설계

5.2.3 터보 분자 펌프의 설계 이상에서 기술하였듯이, 터보 분자 펌프의 배기 성능은 여러 가지 요소에 의해 결정되는데, 회전자와 고정자 날개에 대한 설계에 있어 경사각도, 날의 면적날 사이에 간격 및 회전 속도 등에 의존하게 된다. 또한, 전체 성능은 펌프의 압축비, 배기 속도 및 날개의 구조 등을 최적화하여야 한다. 진공 펌프의 압축비(compression ratio)란 펌프가 동작할 경우에 흡입구의 압력에 대한 배기구의 압력 비율을 의미한다. $$압축비 = \frac{배기구 압력}{흡입구 압력}$$ 압축비는 배기 되는 기체분자의 분자량의 함수이며, 회전자의 회전 속도와 관계된다. 펌프의 압축비는 흡입구 쪽으로 들어오는 기체 분자들을 압축하여 배기구 밖으로 전달하는 정도를 나타내며, 결국 회전자 날..

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