크라이오 펌프 관련

5.3 크라이오 펌프 크라이오 펌프(cryo pump)는 원래 cryogenic pump의 줄인 말로써, cryo는 저온이라는 의미이다. 썸프의 원리는 이미 앞서 러핑 펌프에서 기술하였듯이, 저 진공 펌프에서 섭션 펌프나 확산 펌프에서 사용하는 냉온 트랩과 유사한 것으로 온도를 낮추어 표면에 흡착하도록 하는 방식이며, 일종의 포획 펌프이다. 즉, 기체분자를 차갑도록 온도를 낮추어 운동 에너지를 잃고 펌프 내에 얼려 붙잡아두는 독특한 방식의 펌프라 할 수 있다. 확산 펌프나 터보 펌프와 같은 오일을 사용하거나 기계적으로 동작하지 않기 때문에, 역류에 대한 문제가 전혀 없으며, 또한 펌프와 외부로 연결되는 컴프레서(compressor)의 동작으로 인한 소음을 제외하면 소음이나 진동에 대한 염려가 없다고 할 ..

원문링크 : 크라이오 펌프 관련