나노버블_세정메커니즘 실리콘웨이퍼

나노버블_세정메커니즘 실리콘웨이퍼

세정/살균에 관한 "실리콘 웨이퍼 나노 버블 세정 메카니즘" 야베아키라교수_국가연구개발 법인산업기술종합연구소 명예 연구원 참고문헌 : T. Morimatsu, M. Goto, M. Kohno and A. Yabe: "Cleaning Effect of Nano-Bubbles (1st Report: Minute Particle Contamination)", Thermal Science and Engineering, Vol.12. No.4, pp.67-68 (2004)...

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