반도체 공정 2강(Molten furnance, MGS 만들기)

MGS는 Metallurgical grade Silicon의 약자입니다. 반도체를 만들기 위해 지구에 존재하는 모래(Quartz)를 1차적으로 가공한 다결정 실리콘입니다. 물론 아직 반도체를 만들기에는 순도가 부족한 95~98%로서, 반도체 생산 중간단계 물질입니다. Fundamentals of Microelectronics Processing, Hong H. Lee 위 그림은 MGS를 생산하기 위한 Furnance 의 도식도입니다. Furnance의 좌측에서 Coal(C)과 Quartz(SiO2)를 공급하고, 고온의 Furnance에 들어가서 화학반응을 일크킵니다. 화학반응의 산물인 액체상태의 실리콘은 아래에 모였다가 응고되어 MGS가 되고, 화학반응의 부산물(CO, SiO, H2O)은 위로 모여 배출됩니다. Fundamentals of Microelectronics Processing, Hong H. Lee 위 그림은 Furnance를 보다 자세하게 그린 도식도 입니다. 자세히 ...

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