반도체 공정 4.5강(Impurity segregation)

앞서 잉곳(Ingot)을 만들기 위한 세 가지 공법에서, 불순물이 한쪽으로 치우치는 현상이 발생합니다. 이는 Impurity Segregation으로 설명할 수 있습니다. 아래 상수는 Equilibrium segregation coefficient로 값이 작을 수록 액체가 불순물을 더 많이 가져가는 물질입니다. 1. Czochralski method(CZ) 초크랄스키 공법은 타 공법에 의해 불순물의 농도가 높습니다. SiO2 Crucible에 의해 산소의 농도가 높고, Carbon heater에 의해 탄소의 농도가 높습니다. 불순물의 농도는 시간이 흐르면서 더욱 높아지게 되고, 우측 그래프와 같이 나중에 응고된 고체에서 불순물 농도가 더 높게 됩니다. 위 그래프에서 Antimony는 Equilibrium segregation coefficient가 작기 때문에 다른 물질에 비해 고체에서 불순물의 농도가 낮습니다. 2. Zone Refining 또는 Floating Zone(Fz) 플...

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