반도체 공정 44.5장(RC time delay / Buried, Butted contact)

이번 포스팅부터는 RC time delay에 대해 알아보겠습니다. RC time delay는 명칭에서부터 알 수 있는 것처럼 반도체 소자 속에 자연스럽게 Resistance와 Capacitor 영역이 생겨서 신호 전달이 늦어지는 것을 의미합니다. 그리고 소자에서 n+ 영역과 Polysilicon 영역을 잇는 Interconnection의 다양한 종류에 대해 알아보겠습니다. 1. RC time delay Introduction to Microelectronic Fabrication, 2nd Ed., R. C. Jaeger 위 그림에서 Source에서 Drain으로 가는 일부 n+ 영역을 회로로 나타낸 것입니다. 두 개의 R/2는 MS junction에서 발생하는 Contact resistance입니다. 그리고 세로축으로 존재하는 회로는 n+p junction에 의한 Depletion layer가 Capacitor 역할을 하는 것과, n+p junction에 의한 Diode 역할을 나타...

원문링크 : 반도체 공정 44.5장(RC time delay / Buried, Butted contact)