반도체 공정 45장(Silicides / Polycides / Salicides)

이번 포스팅에서는 반도체 공정에서 매우 중요한 요소인 Silicide에 대해 알아보겠습니다. Silicide는 Metal과 Silicon의 화합물로서 반도체 소자 내부에서 다양한 역할을 맡고 있습니다. Introduction to Microelectronic Fabrication, 2nd Ed., R. C. Jaeger 위 그림에서 Gate 영역에 Polysilicon 위에 있는 Silicide를 확인할 수 있습니다. Silicide는 Metal과 Silicon의 화합물로서 Polysilicon의 면저항(Sheet resistance)을 감소시키는 역할을 하고, 접촉저항을 낮추는 동시에 Gate 와 Source/Drain 사이의 저항을 감소시키는 역할을 합니다. 그리고 또 확인할 수 있는 점은 Al-Cu metallization을 사용했는데, Cu가 들어가 있는 이유는 Electron Migration을 막기 위한 것입니다. 또한 Metal에 1% Silicon을 첨가하지 않은 이유...

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