ALE(Atomic layer etcher) // - ing

High aspect ratio struture에 이용ALD처럼 박막을 증착 후 증착된 박막(=반응된 물질)을 Etch방식을 이용해 제거하는 것A precursor(Dose) -> inert gases(purge) -> Etching(Plasma 이용) -> Pump(byproduct)*참고자료https://m.blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=lam-r-korea&logNo=220985428170&proxyReferer=https%3A%2F%2Fwww.google.com%2F...

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