Plasma - 라디칼 & 전구체

radical과 precursor에 대해 질문이 올라와서 포스트합니다.1.전구체반도체 공정에서 'Precursur'는 공정에서 원하는 물질의 기본 블럭이 되는 물질입니다. 쉽게 주입Gas로 이해하시면 될 것 같습니다.2.라디칼Radical의 경우 plasma상태에서 존재하는 입자 종류 중 하나로써, unsatisfied bonding상태의 입자를 의미합니다. 즉 중성라디칼, 이온성라디칼 어느 형태로든 존재할 수 있으며, 반응성이 매우 크죠.3.예시를 통해 알아보는 전구체 & 라디칼높은 에너지를 가진 전자와 가스들 간의 충돌시 일어날 수 있는 반응들은 다음과 같습니다.즉 plasma상태에서 충돌로 인해 일어날 수 있는 반응을 의미합니다.여기서 A와..........

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