CVD - Mechanism(Kinet , Rate limited step

CVD 반응 메커니즘은 다음과 같다.1.반응 기체의 유입2.반응 기체의 기판으로의 확산3.반응물 기판 흡착과 화학반응4.부산물 탈착5.부산물 확산6.부산물/가스 Pump Out*adsorption:흡착 (스펠링이 비슷한 absorption=흡수 와 주의하자.)*desorption:탈착하지만 위의 Mechanism은 너무 많아보인다. 러프하게 3가지로 바라보자.1.Reagent diffusion(=Mass transport)2.Surface reaction3.byproduct diffusion(=Mass transport)이는. etching반응과 동일한 메커니즘이다. 이는 Etching과 CVD 둘 다 외부의 용액 or 가스를 이용하기 때문이다.CVD의 경우 Reactant가 Gas이다. (Precursor라고 부른다.) 이 경우 Diffusion이..........

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