CMOS Logic Process - STI

STI = Shallow Trench Isolation 을 의미한다.1.역사 과거에는 LOCOS기법을 이용하였으나, 집적화의 향상을 위해 적은 영역에서 isolation구조가 필요했다. 이에 등장한 것이 STI이다. 이는 LOCOS 구조보다 적은 영역, 깊은 구조로 이루어져있다. 쉽게 말해 HAR(High Aspect Ration) Structure!! 2.용도 CMOS의 nMOSFET과 pMOSFET을 분리시켜주는 Isolation(절연) 역할.S/D과 Bulk영역은 극성이 다르기 때문에 같이 붙어 있으면 PN juction으로 간섭이 발생하기 때문3.공정 소자가 생길 영역을 구분하는(만드는) 것이기 때문에, 대부분 반도체 공정에서 제일 먼저 진행3-1 Pad Oxide & SiN deposition, PR coating3-2 Photolithogra..........

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