CMOS Logic 공정

CMOS Logic 공정

1.STI formation2.Well 이온주입3.채널 이온주입4.Gate process5.LDD 이온주입6.Side wall spacer formation7.S/D 이온주입8.Halo 이온주입9.Silicide 형성10.Contact process각각 공정 Layer는 하나하나 포스트해서 다루겠습니다....

CMOS Logic 공정에 대한 요약내용입니다.

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