Photolithography - 3

이번에는 원본과 가까운 이미지를 얻을 수 있도록 해상력을 높이는 방법들을 알아보도록 하자. 사실 단파장을 사용하는것이 가장 근본적인 해결책이 될 수는 있겠지만, 실제 양산하는 회사의 입장에서 광원을 바꾼다는 것은 라인의 설비,장비들을 싹다 바꿔줘야 하는 문제이기때문에 현실적으로 이 부분은 어렵다. 그래서 사용하는것이 이번 포스팅에서 다룰 내용들이다. 1. Immersion lithography 임멀전 방식은 물을 이용해 굴절률을 높이는 방법이다. 이전 포스팅에서 개구율은, NA = nsinθ 로 표현된다고 했는데, 매질로 물을 이용하면서 NA의 증가와 더 나아가 Resolution이 더 좋아지도록 만들어준다. 즉, 같은 광원을 사용하면서 더..........

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