[특허 소식] 日 코쿠사이, 韓 유진테크에 특허침해 소송 제기

안녕하세요. 아이피렉스 특허법률사무소입니다. 일본 기업 코쿠사이엘렉트릭이 국내기업 유진테크에 특허침해 소송을 제기했습니다. 코쿠사이엘렉트릭이 침해를 주장한 장비는 원자층증착(ALD)장비에 대한 부분입니다. 양사는 ALD 배치 장비와 관련해 특허 소송을 진행할 예정이며, 코쿠사이가 침해를 제기한 특허 4건은 반도체 증착 공정에서 사용되는 가스 공급 및 처리 방식이 주 골자로, 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조방법과 관련되어 있습니다. 유진테크의 대형 ALD 배치 장비 Harrier-L(출처: 유진테크 홈페이지) 이번 특허 소송의 쟁점은 ALD 배치 장비로, ALD는 원자층을 한층씩 쌓아올려 박막을 형성하는 기술입니다. ALD배치형은 50~150의 웨이퍼를 한번체 처리하는 기술로, 싱글형보다 생산성이 높다는 장점이 있습니다. ALD 배치 장비는 유진테크의 신성장동력으로, 코쿠사이엘렉트릭의 침해 제기에 유진테크도 적극적으로 대응할 것으로 예상됩니다. ※ 본 포스팅은 관련 기사를 참고...

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