삼성전자 불산 재사용 기술 시스템 개발

삼성전자가 반도체 세정에 쓰이는 불산(액화 불화수소)를 재사용할 수 있는 시스템을 개발했다. 한번밖에 사용하지 못했던 불산을 재활용해 폐기물을 획기적으로 줄이는 동시에 그동안 일본에 의존했던 수입 의존도를 상당부분 낮출 수 있을 것으로 보인다. 2년 전 수출규제로 인해 삼성전자는 불산 재사용 기술을 연구해왔다. 2월 15일 반도체업계에 따르면 삼성전자는 최근 고농도 불화수소 세정액을 재사용할 수 있는 시스템을 개발해 화성 반도체사업장 1개 라인에서 시범운영 중이다. 불화수소 세정액을 내부 순환장치를 통해 회수한 뒤 재사용하는 방식이다. 먼지 한톨도 용납하지 않는 나노미터(·1나노는 10억분의 1m) 반도체 기술경쟁에서 세정액은 본래 한차례 사용한 뒤 폐기된다. 불화수소는 반도체 기판인 웨이퍼의 세정과 ..

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