고진공 펌프의 종류

고진공 펌프 일반적으로 초기 진공을 형성하기 위해서는 러핑 펌프가 사용되며, 러핑 펌프는 저진공 영역에서의 배기 역할을 완료하게 된다. 그리고 이어서 진공 용기의 압력을 희망하는 고진공까지 낮추기 위하여 고진공 펌프가 동작하면서 임무를 교대하고, 대체로 기계적인 펌프는 고진공 펌프의 배기부로 연결되어 보조 펌프로서 다시 역할을 계속하게 된다. 고진공 펌프는 러핑 펌프에 비해 흡입구의 면적이 크며, 이는 고진공 영역에서는 분자 유동에 의해 기체 분자들의 평균 자유 행정이 커지기 때문에 펌프의 입구로 많이 들어올 수 있도록 흡입구가 커지게 된다. 유체는 기체 분자들의 운동 에너지에 비례하여 외부의 압력에 대해 저항하게 된다. 기체분자의 운동 속도는 방향성을 가진 유동 성분과 방향성이 없는 열운동 성분으로 구..

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