측정 게이지의 종류

7.3 간접측정 게이지 대부분의 진공 게이지는 간접 측정방식을 이용하는데, 이는 기체의 물리적인 특성을 이용하여 측정하는 게이지이다. 즉, 기체가 가지는 특성 중에서 열전달에 의한 방식이나 기체의 이온화를 이용하여 측정하는 게이지가 많이 사용되며, 본 절에서는 진공 시스템에서 주로 사용하는 진공 게이지에 관해 기술하도록 한다. 7.3.1 열전대 게이지 열전대 게이지(thermocouple gauge; TC gauge)는 필라멘트의 온도 변화를 열전대로 측정하는 게이지이다. 러핑 진공 영역에서 주로 사용하며 구조가 간단하고 견고하지만, 다른 게이지에 비해 반응속도가 느리다는 단점이 있다. 이는 가열된 필라멘트를 식히기 위해 시간이 필요하기 때문이다. 그림 7-8은 열전대 게이지의 기본 원리를 나타내는데, ..

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