반도체 공정 기본 용어

반도체 관련 사업 구매 담당자를 위한 용어 설명입니다. 1. ABORT: PROCESS 진행 중 장비 이상 등으로 인해 PROCESS를 중지 시키거나 중지 되는 것 2. AGENT: 외국설비 MAKER대신 장비를 SET UP, 문제조치 및 유지 등을 지원하는 사람 3. ALIGN: 장비나 물질을 기계적, 물리적으로 정렬 시켜 주는 것, 일반적으로 PHOTO공정에서 많이 사용 4. AIR SHOWER: FAB의 청정도를 유지하기 위해 AIR로 P/C를 제거 하는 것 5. ACCURACY: 동작한 물체가 얼마만큼 정확하게 움직였는지 또는 얼마나 정확한 값이 나왔는지의 결과 값 6. BM(BREAKDOWN MAINTERNACE): 설비 고장 발생 후 취해지는 조치 및 수리 7. BAKE: PR등 특정 막을 도포 후에 습기 제거 목적으로 고온으로 처리하는 공정 8. BATCH: 단위 PROCESS중 동시에 여러 장의 WAFER를 처리하는 형태 9. BAY: FEB을 공정별로 구분하여 지정한...

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