ClasSIC 807 - 시장을 선도하는 SIC 용 CMP 슬러리

안녕하세요^^ 가온에스티 입니다. 오늘은 생고뱅 슬러리 중 SIC용 CMP슬러리를 소개하려고 합니다. CMP슬러리 ClasSIC 807은 일괄 공정에서 6μm/hr, 단일 공정에서는 >10μm/hr의 연마율을 자랑합니다. ClasSIC 807은 최상의 효율을 제공하는 최첨단 CMP 슬러리 이다. 향상된 절단 효율성과 함께 가공 형태의 차세대 입자 과망간산염 산화 효과가 최적화 되도록 설계 된 특허 받은 화학구조 표면을 손상시키지 않고 연마율을 최대화 되도록 만들어진 입자와 새로운 화학 물질의 결합 * 마찰 저항을 최소화시켜 모든 가공 툴 및 소모품과 호환 가능 * 다양한 연마 조건과 온도 범위에서 광범위한 호환성 ClasSIC 102V와 807 용액이 D100 패드에서 원하는 성능 달성 높은 연마율, 우수한 표면 조도, 웨이퍼 전반에 걸친 균일한 연마율로 경쟁력 있는 성능 보유 SIC 분야의 다양한 주요 고객사에서 입증됨 < Images taken with Zygo Newview 8...

원문링크 : ClasSIC 807 - 시장을 선도하는 SIC 용 CMP 슬러리