CVD- BPSG & AMAT의 P5000, CENTURA HDP CVD 200MM

1.BPSG란?boro phosphoro silicate glass 즉 Boron(붕소)와 Phosphorous(인)이 doping된 Silicate glass다. silicate glass는 SiOx이다. (cf:x=2인 경우를 흔히 silica라고 부른다.)2.특징-lower intrinsic stress than SiO2-lower melting temperatures than SiO2-better dielectric properties than SiO2***왜 항상 비교대상이 SiO2일까? 이는 용도편에서 설명하겠다.3.용도3.1Planarization예를 들어 gate formation 이후 단차를 맞춰주기 위한 planarization process에 쓰인다. 1.BPSG depo2.Organic resist depo(or coating)3.plasma etching4.scarified BPSG 형성 (=step height감소)+regions or valleys between individu..........

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